激光器

產(chǎn)品特點(diǎn)：IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，應(yīng)用于光學(xué)計(jì)量、193 nm步進(jìn)光學(xué)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子的帶寬控制等領(lǐng)域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。

產(chǎn)品價(jià)格：

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

更新時(shí)間：2025-11-21

產(chǎn)品型號(hào)：IXION 193 SLM

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IXION 193 SLM激光器的詳細(xì)資料：

IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，應(yīng)用于光學(xué)計(jì)量、193 nm步進(jìn)光學(xué)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子的帶寬控制等領(lǐng)域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。

該系統(tǒng)的中心波長(zhǎng)可定制，范圍在185至194 nm之間，并可在訂購(gòu)時(shí)配置為固定波長(zhǎng)。

另外，系統(tǒng)還可以集成一臺(tái)絕對(duì)光譜精度為0.001 nm的高精度光譜儀。這使得對(duì)激光光譜調(diào)諧的控制具有最大的精度。

可選

圖形用戶界面
LabView庫(kù)
精密光譜儀
中心波長(zhǎng):185 ~ 194 nm
符合CDRH的快門(mén)

IXION 193 SLM 激光器應(yīng)用

193 nm 計(jì)量
光譜儀校準(zhǔn)
干涉度量
準(zhǔn)分子種子源

IXION 193 SLM

波長(zhǎng)	193.368 nm
平均功率	10 mW
脈寬	typ.8~2ns
脈沖能量	1.6 µJ
重頻	1~15 kHz
光束質(zhì)量	M2 < 1.6
光譜帶寬	< 80 MHz
光譜可調(diào)諧性	> 10 pm
相干長(zhǎng)度	> 2 m
脈沖穩(wěn)定性	σ < 2.5 %